大容积高真空容器内压强自动控制装置

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专利名称 大容积高真空容器内压强自动控制装置 申请号 CN201020062534.4 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN201757850U 公开(授权)日 2011.03.09 申请(专利权)人 中国科学院等离子体物理研究所 发明(设计)人 王玲;王小明;吴金华;张洋 主分类号 G05B19/418(2006.01)I IPC主分类号 G05B19/418(2006.01)I 专利有效期 大容积高真空容器内压强自动控制装置 至大容积高真空容器内压强自动控制装置 法律状态 说明书摘要 本实用新型公开了一种大容积高真空容器内压强自动控制装置,包括有压强控制器,有压强传感器、电控微调阀与压强控制器电连接,压强传感器与真空系统连通,电控微调阀安装在真空系统的进气管道上,还包括有计算机系统,计算机系统的D/A输出卡电连接有功率继电器输出板,数据采集卡电连接有光隔离数字量输入板,功率继电器输出板、光隔离数字量输入板分别与计算机系统中的D/A输出卡数字量输入输出口和压强控制器电连接。本实用新型属于国内首创,是一次创新和突破,本实用新型具有很好的推广前景。?

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