| 专利名称 | 基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块 | 申请号 | CN201010534603.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101984557A | 公开（授权）日 | 2011.03.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 宁瑾;李永梅;韩国威;杨富华 | 主分类号 | H03H9/24(2006.01)I | IPC主分类号 | H03H9/24(2006.01)I | 专利有效期 | 基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块 至基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种基于谐振原理工作的MEMS滤波器模块，包括：一差分信号产生电路；一MEMS滤波器芯片的第一输入端a与差分信号产生电路的输出端连接；一电压转换电路的输出端与该MEMS滤波器芯片的第二输入端b连接；一互阻放大电路的输入端与MEMS滤波器芯片的输出端b连接；一频率漂移检测电路的输入端与互阻放大电路的输出端连接；一频率稳定电路的输入端与频率漂移检测电路的输出端连接，该频率稳定电路输出端与MEMS滤波器芯片的第三输入端c连接，当互阻放大电路的输出信号的频率发生漂移时，提供相应的直流电压信号给滤波器芯片，使滤波器模块的输出信号的频率保持稳定。 |
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