| 专利名称 | 平行振动式微型电场传感器 | 申请号 | CN03106433.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1525181 | 公开（授权）日 | 2004.09.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 夏善红;白强 | 主分类号 | G01R29/12 | IPC主分类号 | G01R29/12 | 专利有效期 | 平行振动式微型电场传感器 至平行振动式微型电场传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种平行振动式微型电场传感器，包括激振部分 1和感应部分2；感应部分2由屏蔽电极3和感应电极4构成； 屏蔽电极3上面有栅孔5。在激振驱动力的作用下，屏蔽电极 3与感应电极4发生周期性平行相对运动。与竖直振动式电场 传感器相比，本传感器振动时空气阻尼小，激振驱动方式灵活， 有利于减少激振信号与感应信号间的电干扰。 |
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