| 专利名称 | 一种微型角速度传感器及其制作方法 | 申请号 | CN03141712.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1514252 | 公开（授权）日 | 2004.07.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 焦继伟;陈永;熊斌;王跃林 | 主分类号 | G01P15/13 | IPC主分类号 | G01P15/13 | 专利有效期 | 一种微型角速度传感器及其制作方法 至一种微型角速度传感器及其制作方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明涉及微型角速度传感器及其制作方法。传 感器由第一基板及其上的两组检测用交叉梳齿状固定对电极、 固定于第一基板上的中央锚点和两侧锚点、第二基板的上表面 的中点电极、悬于第一基板上方的可沿第一方向运动的两组全 同且对称的驱动质量块、中央锚点与驱动质量块相连接的第一 弹性折叠梁、两侧锚点与驱动质量块相连接的第二弹性折叠 梁、连接两组驱动质量块的耦合梁、悬于第一基板上方的可沿 垂直于第一方向的第二方向运动的两个检测质量块、检测质量 块与驱动质量块之间的连接弹性梁、第一弹性折叠梁上的电绝 缘层及其上的驱动配线、第二弹性折叠梁上的电绝缘层及其上 的感应配线构成。采用微电子机械系统技术，工艺简单、灵敏 度高、可靠性好。 |
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