| 专利名称 | 图形发生器 | 申请号 | CN02156430.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1508628 | 公开（授权）日 | 2004.06.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电工研究所 | 发明（设计）人 | 方光荣;张鹏;薛虹;商涛;林滢 | 主分类号 | G03F7/20 | IPC主分类号 | G03F7/20;H01L21/027 | 专利有效期 | 图形发生器 至图形发生器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种图形发生器，用于电子束、离子束等带电粒 子的曝光机，属于曝光机的图形发生器硬件。本发明提供一种 运算速度快、接口简单、功耗低、功能多样的曝光机用的图形 发生器，它以高速数字信号处理器为核心，通过通用串行总线 接口和上位机实现通讯，该图形发生器不仅可以满足以三角 形，矩形和梯形为基本曝光单元图形的曝光格式，而且增加了 圆及圆环为基本曝光单元图形，解决了集成光栅器件加工在速 度和精度上存在的缺陷。本发明由接口电路、双端口存储器电 路、数字信号处理器电路、数模转换电路、曝光/标记检测控制 电路、标记检测电路、最终曝光数据寄存器单元和束闸控制电 路相互连接构成。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障