| 专利名称 | 基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统 | 申请号 | CN02155880.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1508510 | 公开（授权）日 | 2004.06.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院自动化研究所 | 发明（设计）人 | 台宪青;胡旭晓;杨克己 | 主分类号 | G01B7/02 | IPC主分类号 | G01B7/02;G01R1/067 | 专利有效期 | 基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统 至基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级 测量系统，包括控制部分，还包括：铁心(9)放置在线圈(10)和 (8)之间；测杆(7)，其一端连接铁心(9)，另一端连接测杆触头(5)； 微进给装置(6)位于测杆(7)之间，根据被测物体(4)的微小位移 量提供进给量。本发明针对微位移测量采用逐级递推方式进行 分步推进，一方面使纳米级测量易于实现，另一方面使整个测 量系统具有较大的测量范围。因此，纳米级进给装置决定了该 测量系统具有较高的测量精度。该测量系统采用接触方式测 量，因此本系统适合准静态的微位移测量。 |
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