| 专利名称 | 基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法 | 申请号 | CN201110172627.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102231048A | 公开（授权）日 | 2011.11.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 杨济硕;王向朝;步扬;彭勃;殷立峰 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法 至基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种基于空间像自定心的投影物镜波像差检测方法，通过最大光强位置对仿真和实测空间像进行定心，然后对仿真空间像进行主成份分析得到主成份矩阵，再建立主成份系数与泽尼克系数之间的回归矩阵，最后利用主成份矩阵和回归矩阵求解实测空间像的波像差。本发明的优点是提出了一种简易的空间像定心方法，使基于空间像主成份分析的波像差检测方法的检测速度和精度都得到了明显提高。 |
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