| 专利名称 | 振动式微型电场传感器 | 申请号 | CN02147377.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1492235 | 公开（授权）日 | 2004.04.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院电子学研究所 | 发明（设计）人 | 夏善红;裴强;白强;龚超 | 主分类号 | G01R29/00 | IPC主分类号 | G01R29/00 | 专利有效期 | 振动式微型电场传感器 至振动式微型电场传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种振动式微型电场传感器，包括振动部分和感 应部分，在振动部分形成振动膜(1)，在振动膜(1)上制备第一激 振电极(2)和屏蔽电极(3)，在感应部分制备第二激振电极(5)和 感应电极(6)。本发明的微型电场传感器基于微加工技术，体积 小，成本低，易于批量生产。 |
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