| 专利名称 | 一种氧化锌基溅射靶材的制备方法 | 申请号 | CN201010166497.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101845614A | 公开（授权）日 | 2010.09.29 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 杨晔;宋伟杰;张宇龙;魏铁锋;张贤鹏;谭瑞琴 | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C23C4/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种氧化锌基溅射靶材的制备方法 至一种氧化锌基溅射靶材的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种氧化锌基溅射靶材的制备方法，包括：将掺杂氧化锌纳米粉体经30MPa～150MPa的模压保压30s～300s，再经120MPa～300MPa冷等静压保压60s～600s，接着以0.5℃/min～10℃/min升温速率升到950℃～1300℃保温1min～30min，然后以10℃/min～100℃/min的降温速率降到650℃～1100℃保温2h～40h，最后以0.5℃/min～10℃/min的降温速率降至室温，经切割、打磨，制成氧化锌基溅射靶材。本发明采用特定的两步烧结参数，实现了低烧结温度下制得致密度高于98％、粒径细小均匀且尺寸为0.5μm～20μm、掺杂成分均匀的靶材。 |
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