| 专利名称 | 一种原位集成浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器 | 申请号 | CN201010182364.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN101894847A | 公开（授权）日 | 2010.11.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 叶振华;陆伟;黄建;邢雯;刘丹;冯靖文;林春;胡晓宁;丁瑞军;何力 | 主分类号 | H01L27/144(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L27/144(2006.01)I | 专利有效期 | 一种原位集成浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器 至一种原位集成浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种原位集成浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器，它采用在前视光场方向上原位集成红外镜面窗口的浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器的结构方案。浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器不仅具有微凸镜列阵型探测器能抑制串音和提高响应率的优点，而且还能通过将微透镜列阵与前视光场耦合界面迁移到红外镜面窗口位置，以减小受衍射极限限制的光敏元尺寸。这解决了微凸镜列阵型红外焦平面探测器受红外衍射极限严重限制的缺点。同时，折射率合适的低温环氧胶、二氧化硅和硫化锌等多种材料，都能方便地制作浸没式微凸镜列阵的红外焦平面探测器的红外镜面窗口。因而本发明具有结构合理和可制作性好的特点。 |
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