| 专利名称 | 基于硅微机械技术的N×N光开关 | 申请号 | CN03128991.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1456908 | 公开（授权）日 | 2003.11.19 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 吴亚明;屈红昌 | 主分类号 | G02B6/26 | IPC主分类号 | G02B6/26;G02B6/35;G02B6/28 | 专利有效期 | 基于硅微机械技术的N×N光开关 至基于硅微机械技术的N×N光开关 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及基于微机械技术的N×N光开关，其 特征在于先制作2N个1×N或N×1光开关，然后将1×N或 N×1光开关的输入输出系用全连接熔接。采用压电材料作为 驱动方式，包括输入输出光纤阵列、夹持板、聚焦透镜、反射 镜和驱动装置的连接方式。所采用的驱动装置，以及驱动装置 的制作。其中夹持板采用硅微机械技术制作，反射镜和驱动装 置的连接采用键合技术，以及硅微机械技术制作的连接方式。 采用上述方法制作光纤阵列板、反射镜阵列，再配以透镜阵列， 作为光耦合层、光传输层、光反射驱动层，构成了N×N光开 关。可以大大的减小光开关的体积，降低N×N光开关的装配 难度，增大光开关的容量，从而易于实现N×N的光交换。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障