| 专利名称 | 一种倾斜式超大高宽比AFM探针及其制备方法 | 申请号 | CN201110366696.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102435785A | 公开（授权）日 | 2012.05.02 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 吴东岷;李加东 | 主分类号 | G01Q60/38(2010.01)I | IPC主分类号 | G01Q60/38(2010.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 专利有效期 | 一种倾斜式超大高宽比AFM探针及其制备方法 至一种倾斜式超大高宽比AFM探针及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明揭示了微纳机械传感器领域中的一种倾斜式超大高宽比AFM探针及其制备方法。该探针包括倾斜式针尖、悬臂梁及主体支撑结构，其特征在于采用顶层硅厚度等于AFM探针悬臂梁厚度的（100）型SOI硅片为制备原料；首先在SOI硅片的顶层硅上应用湿法刻蚀工艺形成AFM探针的悬臂梁，之后在位于悬臂梁顶端的(111)面上制备催化剂颗粒；然后采用化学气相沉积工艺进行硅纳米线的生长形成AFM探针的针尖，得到目标产物。本发明采用硅纳米线生长工艺形成探针的针尖，突破了当前工艺对倾斜式超大高宽比AFM探针制备的限制，真正实现了倾斜式超大高宽比AFM探针可控制备。? |
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