测量半导体激光器腔面温度的测试系统

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专利名称 测量半导体激光器腔面温度的测试系统 申请号 CN201010564571.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102062647A 公开(授权)日 2011.05.18 申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 裘利平;饶兰 主分类号 G01K11/30(2006.01)I IPC主分类号 G01K11/30(2006.01)I 专利有效期 测量半导体激光器腔面温度的测试系统 至测量半导体激光器腔面温度的测试系统 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种测量半导体激光器腔面温度的测试系统,包括:一三维微位移平台;一温控平台位于三维微位移平台的上面,温控平台上安装有样品架;一激光头模块位于温控平台的正上方;一滤波片位于激光头模块与温控平台之间的光路上,使滤波片对被测样品发射的激光形成高反,对激光头模块发射的激光形成高透;一脉冲电流源向激光头模块供电,使激光头模块发出一脉冲激光;一直流电流源向温控平台供电;一直流电流源为被测样品提供工作电流;一监控CCD监控被测样品,利于将激光头模块发出的激光光斑照射于被测样品腔面上;一三维微位移平台控制器控制三维微位移平台的三维移动;一锁相放大器的输入端与激光头模块的输出端连接;一台式万用表的输入端与锁相放大器的输出端连接。

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