| 专利名称 | 光栅耦合器及其与光纤的耦合结构和封装结构 | 申请号 | CN201010561638.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102478686A | 公开（授权）日 | 2012.05.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 李宝霞 | 主分类号 | G02B6/34(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B6/34(2006.01)I | 专利有效期 | 光栅耦合器及其与光纤的耦合结构和封装结构 至光栅耦合器及其与光纤的耦合结构和封装结构 | 法律状态 | 专利申请权、专利权的转移 | 说明书摘要 | 本发明公开了光栅耦合器及其与光纤的耦合结构和封装结构，其中，光栅耦合器包括SOI衬底的硅衬底层(1)、光波导结构、光耦合光栅(5)，所述光波导结构是由下至上的SOI衬底的二氧化硅中间层(2)、SOI衬底的硅顶层(3)和上包层(4)构成，所述SOI衬底的硅顶层(3)上设有光耦合光栅(5)，所述SOI衬底的硅衬底层(1)上刻蚀有刻蚀孔(6)。本发明还公开了光栅耦合器与光纤的耦合结构及光栅耦合器与光纤的耦合的封装结构。通过本发明能实现光耦合光栅和光纤的无源自对准和定位。 |
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