含有保护层的有机半导体场效应晶体管及制作方法

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专利名称 含有保护层的有机半导体场效应晶体管及制作方法 申请号 CN03105024.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1437272 公开(授权)日 2003.08.20 申请(专利权)人 中国科学院长春应用化学研究所 发明(设计)人 阎东航;袁剑峰;严铉俊 主分类号 H01L51/20 IPC主分类号 H01L51/20;H01L51/40 专利有效期 含有保护层的有机半导体场效应晶体管及制作方法 至含有保护层的有机半导体场效应晶体管及制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种含有保护层的有机半导体场效应晶体管,包 括衬底(1),栅电极(2)形成在衬底(1)上,栅绝缘层(3)形成在衬 底(1)和栅电极(2)上,第一半导体层(4)形成在栅绝缘层(3)上, 第二半导体层(6)形成在第一半导体层(4)上,保护层(5)形成在 第二半导体层(6)上,源/漏电级(7)形成在保护层(5)刻蚀孔处和 半导体层(4)上。本发明的特征是采用两种或两种以上有机材料 来共同构成有源半导体层,含有保护层。

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