| 专利名称 | 一种微透镜阵列焦距的测量方法 | 申请号 | CN201110369257.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102494873A | 公开（授权）日 | 2012.06.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 朱咸昌;伍凡;曹学东;吴时彬 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种微透镜阵列焦距的测量方法 至一种微透镜阵列焦距的测量方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种微透镜阵列焦距的测量方法，该方法结合清晰度函数定焦分析，利用光栅衍射分光的原理测量微透镜阵列焦距，平行入射光经过光栅后，由于高级次衍射光光强较小可忽略，其出射光被分成3束：0级、+1级和-1级，通过测量光栅分光后在微透镜各个子孔径中的0级和±1级的光斑中心距，完成对微透镜阵列焦距的测量。同时，利用该方法一次采集图像可完成对多个子孔径的测量，适合于阵列数较多的微透镜焦距测量。本发明由于光栅分光角度由光栅周期和测量波长确定，相比较传统的转角法测量，该方法无需转台，操作简便易行。 |
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