| 专利名称 | 六轴4细分干涉仪 | 申请号 | CN201110206449.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102288104A | 公开（授权）日 | 2011.12.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所;上海微电子装备有限公司 | 发明（设计）人 | 陈建芳;程兆谷;程亚;黄惠杰;池峰 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I | 专利有效期 | 六轴4细分干涉仪 至六轴4细分干涉仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种六轴4细分干涉仪，特点在于其构成包括沿偏振正交双频激光入射方向依次为六轴分光系统和干涉模块。所述的六轴分光系统由5个45°平面分光镜和4个45°全反镜组成。本发明具有元件易加工、光路调节方便、非线性误差小和各路光束温漂一致等优点。 |
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