| 专利名称 | 1053纳米波段的金属介质膜反射式偏振分束光栅 | 申请号 | CN201110275141.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102289014A | 公开（授权）日 | 2011.12.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 关贺元;晋云霞;刘世杰;汪剑鹏;范正修 | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/18(2006.01)I;G02B27/28(2006.01)I | 专利有效期 | 1053纳米波段的金属介质膜反射式偏振分束光栅 至1053纳米波段的金属介质膜反射式偏振分束光栅 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种1053纳米波段的金属介质膜偏振分束光栅，特点在于其是在石英基底上依次镀制的银层、高反射膜层和矩形光栅构成，该矩形光栅的周期为680.6纳米，占空比为0.2，光栅刻蚀深度为374～476纳米，银层厚度为100纳米，高反射膜层的中间层为高折射率层，内层外层为低折射率层。本发明反射式金属介质膜偏振分束光栅，具有很高的消光比和衍射效率，较宽的带宽和角宽，可以用于高功率激光系统，起到很好的偏振分光效果。 |
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