| 专利名称 | 一种全固态高循环寿命薄膜锂电池及其制作方法 | 申请号 | CN201110180043.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102290595A | 公开（授权）日 | 2011.12.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 周健;孙晓玮;谈惠祖;周舟;周建华;王伟 | 主分类号 | H01M10/0525(2010.01)I | IPC主分类号 | H01M10/0525(2010.01)I;H01M4/136(2010.01)I;H01M4/58(2010.01)I;H01M4/1397(2010.01)I;H01M10/058(2010.01)I;H01M10/0562(2010.01)I | 专利有效期 | 一种全固态高循环寿命薄膜锂电池及其制作方法 至一种全固态高循环寿命薄膜锂电池及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种全固态高循环寿命薄膜锂电池及制作方法，其特征在于薄膜锂电池组成为：①在玻璃衬底表面溅射一层Al薄膜；②在Al薄膜表面溅射沉积一层氮化镍钴薄膜，作为阳极薄膜，氮化镍钴薄膜的组成通式为ComNi1-mN(0＜m＜1)；③在氮化镍钴薄膜的表面溅射沉积组成通式为Li1+xMxTi(PO4)3薄膜(0＜x＜2)，M为Al、Sc、Y、Fe或Cr；④在Li1+MxTi(PO4)3薄膜上沉积一层金属锂薄膜；⑤在Li薄膜沉积Ni薄膜作为阴极集电极；⑥在Li薄膜表面覆盖封装后，且分别在阴极和阳极集电极处引出Au处。且具有制备工艺简单，不需要高温退火过程，电池按国标测定充放电循环次数达1500次，且保持电池容量80％，且可通过沉积多层膜方法实现高电压输出，在微能源、传感器以及网络方面有广泛应用。 |
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