| 专利名称 | 基于空间像频谱的光刻投影物镜波像差检测方法 | 申请号 | CN201110202648.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102236268A | 公开（授权）日 | 2011.11.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 彭勃;王向朝;杨济硕;闫观勇;徐东波 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 基于空间像频谱的光刻投影物镜波像差检测方法 至基于空间像频谱的光刻投影物镜波像差检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种基于空间像频谱的光刻投影物镜波像差检测方法，本发明的特点在于通过频谱匹配进行空间像定心和波像差求解。本发明方法包括1)使用光刻仿真软件PROLITH计算不同泽尼克像差组合对应的仿真空间像，对每幅空间像进行傅里叶变换；2)对仿真空间像频谱集合进行主成分分析，通过线性回归分析在主成分系数和泽尼克系数之间建立回归矩阵；3)运行光刻机的空间像采集程序，完成实测空间像的采集；4)使用频谱定心方法对实测空间像进行定心，将实测空间像的频谱修正为理想位置空间像对应频谱；5)计算投影物镜波像差。本发明可避免空间像差值带来的误差，简化了测试流程，提高了测试精度。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障