含有有机半导体的夹心型场效应晶体管及制作方法

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专利名称 含有有机半导体的夹心型场效应晶体管及制作方法 申请号 CN02129458.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1398004 公开(授权)日 2003.02.19 申请(专利权)人 中国科学院长春应用化学研究所 发明(设计)人 阎东航;王军;张坚 主分类号 H01L29/772 IPC主分类号 H01L29/772;H01L21/335;H01L51/00 专利有效期 含有有机半导体的夹心型场效应晶体管及制作方法 至含有有机半导体的夹心型场效应晶体管及制作方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种含有有机半导体的夹心型场效应晶体管,包 括衬底(1),在衬底(1)上形成栅电极(2),栅绝缘层(3)形成在 衬底(1)和栅电极(2)上,其特征在于有源层(4)形成在栅绝缘 层(3)上,并露出部分绝缘层(3),源/漏电级(5)形成在部分 有源层(4)和部分栅绝缘层(3)上,有源层(6)形成在露出的栅 绝缘层(3)、有源层(4)、源电极和漏电极栅(5)上。本发明充 分发挥有机半导体低温加工的优点,采用两种或两种以上 材料共同构成有源半导体层,增强有源层与源和漏电极有 效接触,降低器件的阈值电压,并且半导体和源漏电极能够与 绝缘层牢固连接。

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