氮化铝与铜的高温钎焊方法

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专利名称 氮化铝与铜的高温钎焊方法 申请号 CN02136448.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN1396037 公开(授权)日 2003.02.12 申请(专利权)人 中国科学院上海硅酸盐研究所;上海申和热磁电子有限公司 发明(设计)人 陈立东;柏胜强;山村章;荒木暉;吴燕青 主分类号 B23K31/12 IPC主分类号 B23K31/12 专利有效期 氮化铝与铜的高温钎焊方法 至氮化铝与铜的高温钎焊方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种氮化铝和铜的高温钎焊工艺。其特 征在于中间层组成为Ag 40-75%,Cu 10-45%,Ti 0.1-8%, 其余为Al、Ni、Zr、Co、Mn、W中的一种或几种(质量);高 温钎焊温度不高于1000℃,时间不超过120分钟,压力不大于 1兆帕,气氛为真空或非氧化性气氛。中间层以粉末直接均匀 置于AlN基片和Cu之间;或将中间层粉末分散于由分散剂和 有机粘结剂构成的溶液中得到涂层浆料再用丝网印刷法将涂 层浆料涂布于AlN基板和Cu之间;或将中间层粉末压制成厚 度不超过0.4mm的箔片后,置于AlN基片和Cu之间。本发明 提供的钎焊工艺,保证了AlN和Cu结合强度,钎焊过程中没 有引入氧化物和玻璃态物质,也没有氧化物或玻璃态物质生 成,因此对AlN基板的性能基本无影响。

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