| 专利名称 | 全光纤纳米精度微位移与微振动干涉测量仪 | 申请号 | CN02112077.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1384331 | 公开（授权）日 | 2002.12.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 王向朝;王学锋;刘英明;钱锋 | 主分类号 | G01B9/02 | IPC主分类号 | G01B9/02 | 专利有效期 | 全光纤纳米精度微位移与微振动干涉测量仪 至全光纤纳米精度微位移与微振动干涉测量仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种全光纤纳米精度微位移与微振动干涉测量 仪,包括波长不相同的带有第一驱动电源和温度控制器的光源, 调整光路准直用的准直光源和使被测物体产生振动的激振光 源。光束传送的全光程都是在光纤、合波元件和光纤耦合器中 进行。有两个光电转换元件响应波段只是对应光源发射光束的 波段,对准直光源和激振光源发射的光束不响应。在第一驱动电 源和模数转换器之间连接有控制初始相位的相位控制器。与在 先技术相比,本发明具有结构紧凑、体积小、抗干扰能力增强, 消除了由于波长漂移带来的误差的优点,测量精度高。 |
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