| 专利名称 | 一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器 | 申请号 | CN201110191846.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102376812A | 公开（授权）日 | 2012.03.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 黄志明;陆金星;黄敬国;周炜;沈学民;魏彦峰;侯云;高艳卿;褚君浩 | 主分类号 | H01L31/08(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/08(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01Q1/44(2006.01)I | 专利有效期 | 一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器 至一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开一种天线耦合碲镉汞太赫兹探测器，具有探测灵敏度高，响应速度快，室温工作，结构紧凑可大规模集成的优点，可以对太赫兹信号进行实时探测成像。该探测器基于窄禁带半导体的热载流子吸收效应，选用适当组成的碲镉汞材料，设计合理可行的天线耦合结构，进行光刻、腐蚀、溅射工艺制作，使用前置放大电路进行信号读出，从而实现对太赫兹信号的探测。本发明器件所用材料制备工艺成熟，可实现线列或阵列探测。 |
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