| 专利名称 | 可远程磁驱动的磁性/聚合物复合材料三维微纳器件的制备方法 | 申请号 | CN201110107659.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102249182A | 公开（授权）日 | 2011.11.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院理化技术研究所 | 发明（设计）人 | 段宣明;王维康;孙正滨;郑美玲;董贤子;赵震声 | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81C1/00(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;C23C18/30(2006.01)I;C23C18/36(2006.01)I;C23C18/31(2006.01)I;C23C18/50(2006.01)I | 专利有效期 | 可远程磁驱动的磁性/聚合物复合材料三维微纳器件的制备方法 至可远程磁驱动的磁性/聚合物复合材料三维微纳器件的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种可用外磁场远程驱动的磁性/聚合物复合材料三维微纳器件的制备方法，特别涉及一种将激光三维微纳加工技术与化学镀工艺相结合的制备方法。首先利用激光三维加工系统逐点扫描光刻胶，去除未被聚合的光刻胶后得到聚合物微纳结构，再利用化学镀工艺在上述聚合物微纳结构表面沉积一磁性材料层，获得由磁性/聚合物复合材料构成的三维微纳器件，用外磁场驱动可实现对微纳器件的远程精确操控。该方法可用于制备可外磁场驱动的、具有任意三维结构的微纳器件，所制备三维微纳器件不仅具有良好的磁性能，而且具有高硬度和高模量等良好的机械性能。该方法所制备微纳器件可用于微流控系统和微机电系统中的各种部件以及体内微纳医疗器件。 |
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