光学成像系统光学波前的单焦面高精度测试方法

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专利名称 光学成像系统光学波前的单焦面高精度测试方法 申请号 CN201110095518.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102252763A 公开(授权)日 2011.11.23 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 邵晶;马冬梅;聂真威;刘金国;郭永飞 主分类号 G01J9/00(2006.01)I IPC主分类号 G01J9/00(2006.01)I 专利有效期 光学成像系统光学波前的单焦面高精度测试方法 至光学成像系统光学波前的单焦面高精度测试方法 法律状态 授权 说明书摘要 光学成像系统光学波前的单焦面高精度测试方法,涉及一种光学测试技术领域,它解决现有相位恢复算法中出瞳振幅分布不均匀和快速傅里叶变换引入计算误差的问题,并且为消除图像采集过程中振动对检测精度产生的影响提供解决方案,其方法:搭建光学成像系统的检测平台;采用检测平台中的探测装置检测待测镜头的焦面位置,探测装置获得待测镜头的离焦星点图像;根据获得的离焦星点图像选取有效数据,计算光学系统的光瞳函数;对获得的光瞳函数提取相位,获得光学成像系统的光学波前。所述计算光学系统的光瞳函数采用泽尼克多项式、扩展奈波尔泽尼克多项式和广义逆矩阵计算。本发明低成本、精度高,适合于光学成像系统的生产企业、科研和检测单位使用。

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