| 专利名称 | 一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜及其制作方法 | 申请号 | CN01139287.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN1359017 | 公开（授权）日 | 2002.07.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 李铁;杨艺榕;王跃林 | 主分类号 | G02B26/08 | IPC主分类号 | G02B26/08 | 专利有效期 | 一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜及其制作方法 至一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜及其制作方法 | 法律状态 | 公开 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种具有阶梯结构底电极的静电扭 转微镜。其特征在于驱动电极呈多级阶梯底电极结构;阶梯结构 底电极台阶数至少大于或等于2,阶梯底电极与微镜的角度由 台阶高度h和台阶宽度l的比值控制。通过X方向和Y方向分 别设置扭梁并进行二维嵌套,可方便地扩展为二维转动微镜。其 制作方法或用无掩膜各向异性腐蚀,或用DRIE干法刻蚀,或用 这二种方法组合制作,然后将阶梯电极和微镜对准、安装。 所用的材料为单晶硅或SOI材料,本发明综合了现有技术中倾 斜电极和平行于微镜的底电极两种现有转动微镜的优点。 |
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