| 专利名称 | 可自锁的基片挡板组件 | 申请号 | CN201210590798.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103045994A | 公开（授权）日 | 2013.04.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 发明（设计）人 | 郭东民;刘丽华;冯彬;孙影;佟雷 | 主分类号 | C23C14/00(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/00(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I | 专利有效期 | 可自锁的基片挡板组件 至可自锁的基片挡板组件 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明属于镀膜技术领域，具体地说是一种可自锁的基片挡板组件。包括大基板挡板、中间轴、主动轴及驱动机构，其中大基板挡板和中间轴设置于真空腔体内，所述大基板挡板设置于中间轴的上端，中间轴的下端端部为斜面I，所述主动轴的一端与驱动机构连接，另一端为与中间轴下端端部的斜面I相对应的斜面II、并插入真空腔体内，所述主动轴与真空腔体下端的真空室大法兰转动连接，主动轴的另一端上套设有套筒，所述中间轴的下端端部的斜面I插入所述套筒内、并与主动轴另一端的斜面II相配合；所述主动轴通过驱动机构驱动旋转、并通过摩擦传递带动中间轴旋转，中间轴和主动轴通过摩擦角实现自锁。本发明把基片挡板组件的中间轴和下面主动轴通过摩擦传递转动，可实现有效自锁。 |
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