| 专利名称 | 一种集光系统防污染保护装置 | 申请号 | CN201210505346.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103108481A | 公开（授权）日 | 2013.05.15 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 宗明成;魏志国;徐天伟;孙裕文;黄有为 | 主分类号 | H05G2/00(2006.01)I | IPC主分类号 | H05G2/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种集光系统防污染保护装置 至一种集光系统防污染保护装置 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种集光系统防污染保护装置，用于一种集光系统中，所述集光系统包括：一激光源，一真空腔，一集光镜，所述集光系统防污染保护装置包括：一供气管路，用于传输压力气体；至少一通气孔，位于所述供气管路上，用于喷射所述压力气体；至少一气源，与所述供气管路连接，用于给所述供气管路提供压力气体；其中，所述通气孔与所述通过气路连通，实现通过所述压力气体将所述真空腔中的污染物吹离所述集光镜。本发明能够在激光源和集光镜之间通入背离集光镜内表面的气流，进而实现通过气流将光源中的污染物吹离集光镜，从而防止集光镜被污染物污染，达到延长集光镜使用寿命的目的。 |
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