| 专利名称 | 用于窄线宽准分子激光器的线宽稳定控制装置 | 申请号 | CN201310006315.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103078247A | 公开（授权）日 | 2013.05.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 袁志军;张海波;周军;楼祺洪;魏运荣 | 主分类号 | H01S3/136(2006.01)I | IPC主分类号 | H01S3/136(2006.01)I;H01S3/13(2006.01)I | 专利有效期 | 用于窄线宽准分子激光器的线宽稳定控制装置 至用于窄线宽准分子激光器的线宽稳定控制装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种用于窄线宽准分子激光器的线宽稳定控制装置，该装置由分光器、可调狭缝、高精度光谱仪、线宽反馈控制系统组成。本发明能对准分子激光器输出激光的线宽进行稳定的控制，具有使用方便、结构简单、对准分子激光器线宽连续调节的特点。 |
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