一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置

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专利名称 一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置 申请号 CN201210562890.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103033138A 公开(授权)日 2013.04.10 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 刘华;卢振武;熊峥;孙强 主分类号 G01B11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/02(2006.01)I 专利有效期 一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置 至一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种用于制造绝对式钢带光栅尺的加工装置属于工业加工领域,目的在于解决了传统曝光装置无法制造具有周期、非周期双码道的绝对式光栅尺的缺陷,提高了位移测量精度,实现超长计量钢带尺的制造。本发明还包括投影曝光头、CCD探测器和激光打标装置;所述两个投影曝光头分别对钢带宽度的一半进行曝光,所述激光打标装置位于所述钢带的曝光区间始端的下方,所述CCD探测器位于所述钢带的曝光区间终端的下方,所述CCD探测器及所述激光打标装置的控制输出端与计算机连接。利用两个投影曝光头分别产生绝对式光栅尺所需的周期性、非周期性的码道条纹图案,实现具有双码道的绝对式光栅尺的制造;利用激光干涉仪控制微小位移变化,提高精度。

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