| 专利名称 | 半导体微台面列阵的测量装置和方法 | 申请号 | CN201210525706.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103033131A | 公开（授权）日 | 2013.04.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 熊敏;赵迎春;董旭;时文华;张宝顺 | 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/00(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I;G01B11/22(2006.01)I;G01B11/14(2006.01)I | 专利有效期 | 半导体微台面列阵的测量装置和方法 至半导体微台面列阵的测量装置和方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提出一种半导体微台面列阵的测量装置和方法，该方法基于宽谱热光源照明干涉仪的光学测量装置与方法，结合光学相干层析技术与衍射度量技术的特点，可无损、快速的测量微台面列阵的表面形貌并准确提取微台面列阵的周期、横向尺寸与深度等几何信息，满足微台面列阵的测量要求。 |
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