| 专利名称 | 大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法 | 申请号 | CN201110311551.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103033340A | 公开（授权）日 | 2013.04.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 陈永权;赵建科;段亚轩;李霞;李坤;赛建刚 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I;G01J1/00(2006.01)I | 专利有效期 | 大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法 至大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法，该大口径取样光栅取样率的测试装置包括激光器、分束镜、第一积分球功率计、第二积分球功率计、用于对大口径取样光栅进行扫描的二维扫描镜组以及控制与采集处理系统；分束镜设置于激光器的出射光路上；第一积分球功率计置于经分束镜的透射光路上；二维扫描镜组置于经分束镜的反射光路上；第二积分球功率计置于经二维扫描镜组后透过被测取样光栅的-1级衍射光路上；第一积分球功率计以及第二积分球功率计分别与控制与采集处理系统相连。本发明提供了一种可解决大口径取样光栅取样率的测试问题，并很好的保证了测试精度的大口径取样光栅取样率的测试装置及测试方法。 |
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