| 专利名称 | 一种能自动调压的干式真空泵控制方法 | 申请号 | CN201210593500.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103047144A | 公开（授权）日 | 2013.04.17 | 申请（专利权）人 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 发明（设计）人 | 郭丽娟;张宁;张军;李良进;王光玉 | 主分类号 | F04C28/08(2006.01)I | IPC主分类号 | F04C28/08(2006.01)I | 专利有效期 | 一种能自动调压的干式真空泵控制方法 至一种能自动调压的干式真空泵控制方法 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种能自动调压的干式真空泵控制方法，测量从大气压到真空状态时真空腔体的真空度参数，比较目标真空度参数与已存的真空度参数，读取频率信号，使真空腔体达到频率信号下的真空度，通过循环逼近过程，完成闭环控制。本发明可以根据客户需要的真空度，进行抽速自动调整，达到想要的真空度，并且具有温度，流量，排气压力，功率自动采集系统，可以根据报警设置值进行自我监测并具有自动保护功能。 |
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