| 专利名称 | 一种激光加工纳米粉送粉管 | 申请号 | CN201210593032.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103014700A | 公开（授权）日 | 2013.04.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 林学春;赵伟芳;侯玮;于海娟;李晋闽 | 主分类号 | C23C24/10(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C24/10(2006.01)I;B23K26/34(2006.01)I | 专利有效期 | 一种激光加工纳米粉送粉管 至一种激光加工纳米粉送粉管 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种激光加工纳米粉送粉管，在所述矩形结构的下部开设有凹槽结构，所述激光加工送粉管横截面呈一半圆和一半矩形的结构，在所述半圆形结构的外壁上开设有三个圆形凹槽，在所述圆形凹槽中设置纽扣型的微型振动器，所述微振动器的底部和四周同所述圆形凹槽胶接；所述凹槽结构的底部具有开口，所述开口的距离小于其内部空间的宽度，所述凹槽结构用来容置观察板，所述观察板能从所述凹槽结构中被推入或者被推出；所述凹槽结构的顶部设置有弹簧，所述弹簧一端固定在凹槽结构的顶部，另一端连接一表面光滑的薄板；所述薄板的下方与所述观察板在弹簧的作用力下挤压接触，从而能随时固定所述观察板的位置。 |
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