| 专利名称 | 快速精密射频自动匹配装置 | 申请号 | CN201110301286.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103021774A | 公开（授权）日 | 2013.04.03 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 赵章琰;李勇滔;秦威;李英杰;夏洋 | 主分类号 | H01J37/24(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J37/24(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I | 专利有效期 | 快速精密射频自动匹配装置 至快速精密射频自动匹配装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 公开了一种快速精密射频自动匹配装置包括复阻抗检测装置、控制模块及包含真空电容器、空气可变电容器、电感的电容电感网络；所述真空电容器与所述空气可变电容器并联；所述控制模块根据所述复阻抗检测装置检测的结果，控制所述电容电感网络中真空电容器、空气可变电容器转动，以实现自动阻抗匹配。该快速精密射频自动匹配装置能够对工作状态变化导致的负载阻抗变化做出快速响应，并且能够精细的寻找最优匹配点的快速精密射频自动匹配装置。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障