一种用于移相干涉条纹图的相位提取方法

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专利名称 一种用于移相干涉条纹图的相位提取方法 申请号 CN201110370372.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN102425988A 公开(授权)日 2012.04.25 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 赵文川;吴永前;吴高峰;侯溪;万勇建;范斌 主分类号 G01B9/02(2006.01)I IPC主分类号 G01B9/02(2006.01)I;G01J9/02(2006.01)I 专利有效期 一种用于移相干涉条纹图的相位提取方法 至一种用于移相干涉条纹图的相位提取方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种用于移相干涉条纹图的相位提取方法。相位测量误差具有正弦性周期性分布,而三角函数每相隔π时,其幅值正负相反,即误差分布反相。这样,可对基础算法进行扩展,将多组测量中的反正切公式中分子、分母分别进行叠加平均,利用误差相位分布反相相互抵消来减小误差。在此思想下,可递推推导出多种适合不同情况的平均补偿算法。该算法尤其是对相移误差不敏感,能显著地提高相位测量精度。

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