专利名称 | 一种用于移相干涉条纹图的相位提取方法 | 申请号 | CN201110370372.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN102425988A | 公开(授权)日 | 2012.04.25 | 申请(专利权)人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明(设计)人 | 赵文川;吴永前;吴高峰;侯溪;万勇建;范斌 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I;G01J9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于移相干涉条纹图的相位提取方法 至一种用于移相干涉条纹图的相位提取方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种用于移相干涉条纹图的相位提取方法。相位测量误差具有正弦性周期性分布,而三角函数每相隔π时,其幅值正负相反,即误差分布反相。这样,可对基础算法进行扩展,将多组测量中的反正切公式中分子、分母分别进行叠加平均,利用误差相位分布反相相互抵消来减小误差。在此思想下,可递推推导出多种适合不同情况的平均补偿算法。该算法尤其是对相移误差不敏感,能显著地提高相位测量精度。 |
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