| 专利名称 | 一种干燥微电子器件的方法及其装置 | 申请号 | CN201010209841.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102299051A | 公开（授权）日 | 2011.12.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 王磊;景玉鹏 | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;F26B11/18(2006.01)I;B08B7/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种干燥微电子器件的方法及其装置 至一种干燥微电子器件的方法及其装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开一种干燥微电子器件的方法包括：去离子水浸没待清洗的微电子器件；用液态CO2和表面活性剂的混合溶液置换所述微电子器件中的去离子水；及通入液态CO2冲洗所述微电子器件，去除残留在所述微电子器件上的表面活性剂，并将液态CO2加热至超临界态，对所述微电子器件进行干燥。还公开一种干燥微电子器件的装置包括表面活性剂储罐、CO2储气罐、用于混合表面活性剂和CO2的混合罐、用于干燥微电子器件的反应腔室；所述表面活性剂储罐与CO2储气罐的出口与所述混合罐一端连接，所述混合罐另一端与所述反应腔室入口相连。通过本发明能够有效的解决干燥过程中结构塌陷的问题，避免了有机溶液和CO2的大量使用，缩短了清洗时间，提高了效率。 |
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