| 专利名称 | 一种离子束抛光过程中工件装卡装置和方法 | 申请号 | CN201110329856.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102501154A | 公开（授权）日 | 2012.06.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 施春燕;钟显云;万勇建;范斌;伍凡;张亮 | 主分类号 | B24B13/005(2006.01)I | IPC主分类号 | B24B13/005(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 专利有效期 | 一种离子束抛光过程中工件装卡装置和方法 至一种离子束抛光过程中工件装卡装置和方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明是离子束抛光过程中工件装卡装置和方法，所述工件装卡装置包括四槽旋转台固定在装卡主平台上，四个沟槽正交对称分布在四槽旋转台上；四个滑动固定柱分别装在四槽旋转台的四个槽上，拧动滑动固定柱上的固定螺栓使滑动固定柱固定或松动；陶瓷帽片固定在滑动固定柱的上面；在滑动固定柱侧面有一个挂钩，在挂钩的下侧有一装卡在滑动固定柱上的升降支架结构。本发明亦具有工件装卡方法在装卡主平台上安装一个四槽旋转台，通过可滑动固定柱把工件装卡在四槽旋转台结构上，通过采用千分表旋转四槽旋转台测量距可滑动固定柱的距离，不断移动可滑动固定柱的位置调节距离一致，确保工件的中心与装卡主平台的中心一致，从而实现工件位置的精确装卡。 |
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