| 专利名称 | 一种可控还原气氛泡生炉 | 申请号 | CN201110449563.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102560637A | 公开（授权）日 | 2012.07.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明（设计）人 | 邹宇琦;徐军;姜大鹏;李红军;苏良碧;郑丽和;唐慧丽;徐晓东;钱小波 | 主分类号 | C30B27/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B27/02(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种可控还原气氛泡生炉 至一种可控还原气氛泡生炉 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种可控还原气氛泡生炉，所述泡生炉包括软件控制系统、电控系统、提拉系统、压力平衡系统、断电保护系统、冷却系统、旋转称重系统、真空充气炉室和温场系统，其特征在于：还包括一套低真空压力平衡系统。本发明通过引入低真空压力平衡系统，对传统泡生法设备的真空系统、控制系统、温场系统和保护系统重新整合，可以实现晶体生长与退火一次完成，可有效解决热交换法和温梯法存在的碳元素和钼元素的污染问题，而且可避免在晶体生长过程中由外界带来的碳污染问题；利用本发明提供的可控还原气氛泡生炉，可生长大尺寸的光学级蓝宝石或钛宝石晶体，以满足国内外高功率激光器在军事及民用方面的需求。 |
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