| 专利名称 | 一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔 | 申请号 | CN201120352700.9 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN202307811U | 公开（授权）日 | 2012.07.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 | 发明（设计）人 | 李超波;黄成强;陈波;饶志鹏 | 主分类号 | H01L21/3065(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/3065(2006.01)I;C23F4/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔 至一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔 | 法律状态 | 授权 | 说明书摘要 | 一种干法刻蚀坚硬无机材料基板ICP刻蚀机的预真空腔，包括腔体，所述腔体上安装有腔盖，所述腔盖上开有片盘取放口，所述片盘取放口处设置有盖子，所述腔体的一侧面上开有片盘进出口，所述片盘进出口处设有阀门，所述腔体上设有用于与机械泵连接的机械泵接口、用于与进气管道连接的进气管道接口，所述腔体内底面上开有导轨槽，所述导轨槽内安装有沿其运动的导轨器，所述导轨器上连接有输送片盘的机械手；所述导轨器与带动其运动的丝杆连接，所述丝杆可转动的安装在腔体内，其一端穿出腔体与伺服电机连接，所述伺服电机固定在腔体的底部。本实用新型的有益效果：机械手的运输机制更简单可靠、成本低。 |
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