| 专利名称 | 一种光学元件面形误差的高精度测试装置及方法 | 申请号 | CN201210080275.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102607461A | 公开（授权）日 | 2012.07.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 马冬梅;邵晶 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光学元件面形误差的高精度测试装置及方法 至一种光学元件面形误差的高精度测试装置及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种光学元件面形误差的高精度测试装置和方法，涉及光学测试技术领域，该装置成本低廉，能够快速简便的进行测量和对自身的测量误差进行校准，测量精度高，对测量环境的要求相对宽松。该装置和方法将相位复原方法和点衍射干涉仪的原理融合在一起。采用小孔为测试装置产生理想球面波，对光学面形误差进行高精度测试。该测试装置和方法具有两部分功能，既能够对光学元件的面形误差进行测试，又能对测试装置进行高精度校准。本发明具有低成本、高精度的特点，适合于光学成像系统的生产企业、科研和检测单位使用。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
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