| 专利名称 | 一种校正干涉仪成像系统畸变的方法 | 申请号 | CN201210086778.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102607408A | 公开（授权）日 | 2012.07.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 闫锋涛;范斌;侯溪;伍凡;万勇建 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种校正干涉仪成像系统畸变的方法 至一种校正干涉仪成像系统畸变的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明是一种校正干涉仪成像系统畸变的方法，此方法基于被测件重叠子区域数据的重叠区域上有明确标记点或者镜面面形信息特征，对干涉仪成像系统畸变进行校正，校正干涉仪成像系统畸变方法的系统包括干涉仪、被测件、调整机构及计算机系统，计算机系统与干涉仪连接，调整机构实现对被测件的调整；通过安装在计算机系统上的干涉仪数据处理软件获得经过调整机构调整的被测件上具有重叠区域的子区域数据，最后将得到的子区域测试数据送入计算机系统进行处理，获得干涉仪成像畸变系数及校正后的面形误差；本发明为高精度面形加工测量提供检测方法，具有较大的应用价值。 |
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