动态波前测试装置

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专利名称 动态波前测试装置 申请号 CN201220464492.6 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN202836771U 公开(授权)日 2013.03.27 申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 段亚轩;陈永权;赵建科;徐亮;李坤;田留德 主分类号 G01J9/00(2006.01)I IPC主分类号 G01J9/00(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I 专利有效期 动态波前测试装置 至动态波前测试装置 法律状态 授权 说明书摘要 本实用新型涉及一种动态波前测试装置,包括主动光源、被动光源、分光镜、校准镜、标准镜头、微透镜阵列以及CCD探测器;分光镜设置在主动光源以及被动光源的入射光路上;分光镜将主动光源的入射光分为主动反射光及主动透射光;分光镜将被动光源的入射光分为被动透射光以及被动反射光;校准镜和标准镜头设置在分光镜与待测光学元件之间的光路上;微透镜阵列设置在被动透射光的光路上;CCD探测器设置在经微透镜阵列后的出射光的光路上。本实用新型提出了不受外界环境影响、能够保证测试精度的动态波前测试装置。

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