| 专利名称 | 平行四边形截面氧化锌纳米微米棒的制备方法 | 申请号 | CN201210442452.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN102910668A | 公开（授权）日 | 2013.02.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 董红星;柳洋;张龙;詹劲馨 | 主分类号 | C01G9/03(2006.01)I | IPC主分类号 | C01G9/03(2006.01)I | 专利有效期 | 平行四边形截面氧化锌纳米微米棒的制备方法 至平行四边形截面氧化锌纳米微米棒的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种平行四边形截面氧化锌纳米微米棒的制备方法，以表面覆有10nm厚Au膜的单晶硅片作为样品沉积基片，将一定量的Zn粉或ZnO粉、Sb2O3粉和碳粉按照一定摩尔比例混合均匀作为反应源，放入石英舟，并将沉积有Au膜的基片倒扣在原料上方，然后将石英舟放入管式炉的石英管中心靠近热电偶的位置，反应前，经高纯氮气排除石英管内空气，并在氮气的保护下将炉温升至950~1100℃，反应20~60min，反应时气体流量为氮气3~5L/h，氧气0.1~0.5L/h至反应结束，待炉温自然冷却到室温，可得平行四边形截面的氧化锌纳米微米棒。本发明具有工艺简单，产物重复性好、晶体质量高、形貌尺寸可控的特点。该ZnO纳米/微米棒呈现出对光场优异的调控性能，可用于类波导Fabry-Pérot光学微腔。 |
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