| 专利名称 | 光束位置和角度的调节装置 | 申请号 | CN201310016305.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN103092001A | 公开（授权）日 | 2013.05.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 张善华;曾爱军;袁乔;黄立华;任冰强;黄惠杰 | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I | 专利有效期 | 光束位置和角度的调节装置 至光束位置和角度的调节装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种用于光刻机曝光系统的光束位置和角度的调节装置，其特点在于该装置由沿光束前进方向依次的普通透镜、双焦镜、图像传感器和计算机构成，所述的普通透镜和所述的双焦镜的长焦距共焦点，所述的图像传感器感光面位于所述的双焦镜的后焦面，所述的图像传感器的中心在系统光轴上，所述的图像传感器的输出端与所述的计算机的输入端相连。本发明装置不仅能够实现光束位置和角度的精确调节，而且结构简单、成本低。 |
1、源头对接，价格透明
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