一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷轴

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专利名称 一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷轴 申请号 CN201110356392.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN103103603A 公开(授权)日 2013.05.15 申请(专利权)人 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 发明(设计)人 黄晓霞;郭东民;佟辉;吕棋;王尧 主分类号 C30B15/00(2006.01)I IPC主分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I 专利有效期 一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷轴 至一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷轴 法律状态 著录事项变更 说明书摘要 本发明属于真空设备领域,具体地说是一种可长期在真空设备的高温环境下工作的水冷轴,包括轴端、导水管、长轴、进出水嘴,长轴的一端设有盲孔,盲孔的开口端连接有同样内部设有盲孔的轴端,长轴及轴端的两个盲孔对接组成的空间内设有与长轴连接的导水管,导水管的一端密封抵接于长轴的盲孔底部,导水管的另一端为自由端、靠近轴端的盲孔底部,导水管与长轴的内壁之间为出水通道,导水管内为进水通道,进水通道在导水管的自由端与出水通道连通;长轴的另一端分别设有与出水通道连通的出水嘴及与进水通道连通的进水嘴。本发明的水冷轴可长期工作在高温环境中,水冷效果良好;在工作过程中不脱掉样品,拉晶过程平稳,样品成型后方便取样。

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