技术指标:利用AGV小车通过自动化系统控制实现Wafer自动化搬运,并实现自动上下料,5.1°爬坡,防震处理,自动消防门和风淋室对接处理,标准操作员搬运操作规范3项。希望与具有自主知识产权的技术拥有方进行合作。 (来源:中科院苏州育成中心、苏州市生产力促进中心)