深紫外准分子激光器系列产品
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应用领域
光机电一体化,装备制造
技术领域
电子信息技术,先进制造技术
技术成熟度
可以量产
交易类型
完全转让,许可转让,技术入股
主要技术指标（或参数）：
输出激光波长：193nm、248nm、308nm、351nm
最大激光脉冲能量：800mJ（@248nm）
激光脉冲宽度：约 25ns
脉冲能量稳定性：<1%
● 应用领域：
脉冲薄膜沉积、光纤光栅刻蚀、紫外精细打标
● 市场前景：
该类仪器可广泛的应用于科研、工业和医疗等领域，且可作为关键部件集成
大型激光系统中，具有很好的市场前景。据统计，我国市场年需求各种参数准分
子激光总量在 100 台以上，随着我国半导体制造行业和平板显示行业的飞速发展，
准分子激光需求量仍将有较大幅度提高。● 拟转化的方式（或合作模式）：
可采用研究所与企业通过成果转让或技术入股等方式，共同推进该成果的产
业化。
