一种基于谐振腔的束团长度测量装置

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本实用新型公开了一种基于谐振腔的束团长度测量装置,该装置包括工作于TM010的基波腔、工作于TM0n0的高次谐波腔和滤波器,基波腔用于测量束流的流强,该流强和高次谐波腔的输出信号用于解出束团长度,滤波器用于优化信号。本实用新型克服传统谐波腔测量装置中腔体太过接近束流管道引起的加工难度增大,以及无法工作于更高频率以测量更短束团的局限性。本实用新型为谐振腔法测量束团长度的更广泛应用打下基础。

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